沈陽(yáng)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)成立技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟:優(yōu)勢(shì)互補(bǔ) 組團(tuán)成長(zhǎng)

人民日?qǐng)?bào)記者 王金海 胡婧怡

2021年03月17日07:37  來(lái)源:人民網(wǎng)-人民日?qǐng)?bào)
 
原標(biāo)題:優(yōu)勢(shì)互補(bǔ) 組團(tuán)成長(zhǎng)(新征程 新期待)

雙臂,四指,真空機(jī)械手有節(jié)奏地伸縮旋轉(zhuǎn)。

“伸縮動(dòng)作3.2秒,旋轉(zhuǎn)90度1.5秒,旋轉(zhuǎn)180度2.2秒……”沈陽(yáng)新松機(jī)器人股份有限公司半導(dǎo)體事業(yè)部工程師,正在實(shí)驗(yàn)室跟蹤數(shù)據(jù)、調(diào)試產(chǎn)品。

“這是新松第一次對(duì)外提供雙臂真空機(jī)械手!惫臼聵I(yè)部副總裁楊奇峰介紹,這個(gè)產(chǎn)品專為沈陽(yáng)拓荊科技有限公司的半導(dǎo)體薄膜設(shè)備開(kāi)發(fā)。

拓荊科技和新松機(jī)器人都是沈陽(yáng)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟的骨干成員,處于沈陽(yáng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的上下游。

“拓荊負(fù)責(zé)雙臂真空機(jī)械手的需求導(dǎo)入與應(yīng)用驗(yàn)證,新松負(fù)責(zé)產(chǎn)品研制,面向市場(chǎng)、客戶導(dǎo)向,研制過(guò)程中邊開(kāi)發(fā)邊測(cè)試!睏钇娣逭f(shuō),“根據(jù)客戶需求,經(jīng)過(guò)3個(gè)多月攻關(guān),目前新產(chǎn)品已進(jìn)入測(cè)試階段。研發(fā)成果也豐富了新松的產(chǎn)品系列,將提升終端廠的產(chǎn)能,實(shí)現(xiàn)共贏!

半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)被譽(yù)為制造業(yè)皇冠上的明珠,產(chǎn)業(yè)鏈細(xì)分環(huán)節(jié)多、專業(yè)性強(qiáng),這也意味著技術(shù)研發(fā)的高投入。2008年,沈陽(yáng)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟在沈陽(yáng)高新區(qū)管委會(huì)的支持推動(dòng)下正式成立,之后高新區(qū)組織聯(lián)盟骨干成員聯(lián)合申報(bào)承擔(dān)國(guó)家重大專項(xiàng),在組織項(xiàng)目、研發(fā)過(guò)程中,經(jīng)授權(quán)可以合理使用聯(lián)盟其他成員的專利技術(shù)。

真空機(jī)械手是影響整機(jī)研發(fā)進(jìn)度和產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力的關(guān)鍵部件,楊奇峰和他的團(tuán)隊(duì)一點(diǎn)都不敢疏忽。

“在客戶使用環(huán)境中產(chǎn)品依然保持穩(wěn)定、可靠才行,這還需要大量驗(yàn)證!睏钇娣逭f(shuō),“對(duì)于新產(chǎn)品,越少人用,產(chǎn)品的穩(wěn)定性和可靠性就越難做上去。正是國(guó)家項(xiàng)目支持、聯(lián)盟企業(yè)彼此寬容,幫我們度過(guò)了最初的業(yè)績(jī)積累期。新松的單臂真空機(jī)械手目前已批量應(yīng)用于國(guó)內(nèi)主流半導(dǎo)體工藝設(shè)備!

經(jīng)過(guò)多年發(fā)展,沈陽(yáng)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟由弱到強(qiáng),19家企業(yè)、科研院所和高校覆蓋了半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)鏈的不同環(huán)節(jié),多個(gè)企業(yè)年產(chǎn)值突破2億元。

展望“十四五”,楊奇峰和他的團(tuán)隊(duì)信心更足。“作為企業(yè),要擔(dān)起創(chuàng)新主體的責(zé)任,加大技術(shù)攻關(guān)力量,為優(yōu)化升級(jí)產(chǎn)業(yè)鏈做貢獻(xiàn)!

(責(zé)編:孝媛、湯龍)
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